[发明专利]带有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构的晶圆透镜阵列模具及其制备方法有效
| 申请号： | 201510010087.5 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN104526929B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 万新军;杨波;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;B23P15/24;G02B3/00;B29L11/00 |
| 代理公司： | 上海瑞泽律师事务所31281 | 代理人： | 宁芝华 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构的晶圆透镜阵列模具及其制备方法，晶圆透镜阵列模具由硅或锗材料制作，模具表面均匀分布着微型透镜凹陷曲面型模且形成阵列；每个凹陷曲面型模表面分布有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构，纳米凹陷结构的尺寸和相邻间距呈随机分布，纳米凹陷结构的底部直径为10‑100nm，顶部直径为50‑300nm，相邻纳米凹陷结构的中心间距为100‑500nm，纳米凹陷结构的高度为100‑1500nm；采用晶圆透镜阵列模具批量制备的每个聚合物材料晶圆微透镜片，其表面皆具有二维随机阵列仿蛾眼纳米凸起结构，无需镀增透膜即可达到可见光波段的宽光谱减反效果，极大地简化了工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 仿蛾眼 随机 阵列 纳米 凹陷 结构 透镜 模具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种带有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构的晶圆透镜阵列模具，其特征在于：所述的晶圆透镜阵列模具由硅或者锗材料制作，直径为2寸～8寸之间，在晶圆透镜阵列模具的表面上均匀分布着微型透镜凹陷曲面型模且形成阵列的形式；在所述晶圆模具的每个微型透镜凹陷曲面型模表面上，分布有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构，纳米凹陷结构的尺寸和相邻间距呈随机分布，其中：纳米凹陷结构的底部直径在10‑100nm之间，顶部直径在50‑300nm之间，相邻纳米凹陷结构的中心间距在100‑500nm之间，纳米凹陷结构的高度在100‑1500nm之间；采用所述晶圆透镜阵列模具复制加工出的每个聚合物材料晶圆微透镜片，其表面都有二维随机阵列仿蛾眼纳米凸起结构，此随机阵列纳米凸起结构用于降低微透镜表面的光学反射。
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