[其他]用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置

摘要

本申请涉及用于形成表面活性化合物的单层和多层的Langmuir‑Blodgett膜的仪器和设备，具体为用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其被用在电子产品、分子电子学元件和其他装置的高科技生产中，其操作是基于量子尺寸效应。本实用新型的目的在于开发提供用于获得具有特殊物理和化学特征的功能性涂层的连续加工的装置，当产品在使用中该装置保证其长期稳定性和耐磨性。该设定的目的通过使该装置配备提供用于清洁工作液体和将所清洁的工作液体供应到加工槽的连续处理的单元；单层形成系统；输送系统和提供用于由于物理吸附和化学反应而自动活化基片表面以及稳定表面上的层的附加系统。该装置的开发设计提供用于在基片的连续改良工艺中获得高质量的功能性涂层。

主权项

1.用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，包括：注入工作液体的加工槽，排液设施；至少一种用于将表面活性剂溶液以单层形式铺开到所述工作液体表面上的自动装置，用于将基片移动并以相对于水平面的一个角度存放基片通过所述单层的设施，沿着相对的槽侧面设置的具有在水平面中移动可能性的两个线性障碍物以及可旋转的圆柱形障碍物，所述圆柱形障碍物的轴平行于所述工作液体表面和所述线性障碍物，并且设置在所述线性障碍物之间；两个表面张力传感器，基片表面活化单元和电子控制单元，其特征在于，所述用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置还包括至少一个热交换器，用于清洁所述工作液体并维持其特定水平的系统，和工作液体供应装置；并且所述圆柱形障碍物安置成具有竖直移动的可能性以致其轴位于所述工作液体水平面之下。