[其他]用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置有效

申请号：	201490001534.X	申请日：	2014-09-02
公开（公告）号：	CN207430606U	公开（公告）日：	2018-06-01
发明（设计）人：	弗拉基米尔·杰科夫莱维奇·石里波夫;海纳茨·康斯坦丁诺维奇·扎夫尼尔克	申请（专利权）人：	伊扎维克技术有限责任公司
主分类号：	B05C3/10	分类号：	B05C3/10;B82Y30/00;B05D1/20
代理公司：	北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363	代理人：	厉锦;王建国
地址：	白俄罗***	国省代码：	白俄罗斯;BY
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摘要：
搜索关键词：	纳米结构涂层功能性涂层工作液体固体表面单层表面活性化合物量子尺寸效应化学反应本实用新型长期稳定性分子电子学仪器和设备耐磨性化学特征活化基片连续处理连续加工其他装置输送系统稳定表面物理吸附形成系统装置配备清洁加工槽多层电子产品改良开发申请保证生产
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【权利要求书】：

1.用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，包括：注入工作液体的加工槽，排液设施；至少一种用于将表面活性剂溶液以单层形式铺开到所述工作液体表面上的自动装置，用于将基片移动并以相对于水平面的一个角度存放基片通过所述单层的设施，沿着相对的槽侧面设置的具有在水平面中移动可能性的两个线性障碍物以及可旋转的圆柱形障碍物，所述圆柱形障碍物的轴平行于所述工作液体表面和所述线性障碍物，并且设置在所述线性障碍物之间；两个表面张力传感器，基片表面活化单元和电子控制单元，其特征在于，

所述用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置还包括至少一个热交换器，用于清洁所述工作液体并维持其特定水平的系统，和工作液体供应装置；并且

所述圆柱形障碍物安置成具有竖直移动的可能性以致其轴位于所述工作液体水平面之下。

2.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述加工槽的内部底表面是由斜面制成。

3.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述线性障碍物安置成具有竖直移动的可能性。

4.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述圆柱形障碍物由化学惰性材料制成。

5.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，用于将表面活性剂溶液铺开到所述工作液体表面的装置被制成微型气溶胶分配器的形式。

6.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述基片移动设施被制造为带式输送机。

7.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述基片移动设施被制造为运输辊的至少两个部分，每个部分提供有自动步进电机。

8.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述基片表面活化单元被制造为用于通过物理方法对所述基片表面进行活化的加工元件的组合。

9.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述基片表面活化单元被制造为用于通过物理方法在低温等离子体中对所述基片表面进行活化的加工元件的组合。

10.根据权利要求1所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述用于清洁所述工作液体并维持其在所述槽中的特定水平的系统包括液面传感器。

11.根据权利要求10所述的用于获得在固体表面上的纳米结构涂层的装置，其特征在于，所述用于清洁所述工作液体并维持其在所述槽中的特定水平的系统包括气密封口。