[发明专利]喷墨打印头

摘要

本文描述了打印头以及用于形成打印头的方法。在一个示例中，打印头包括多个液滴生成器，其中每个邻近的液滴生成器之间的间距基本上相同，并且液滴生成器在高滴重(HDW)液滴生成器与低滴重(LDW)液滴生成器之间交替。所述打印头还包括从墨水源引入到与每个液滴生成器相关联的喷射室中的流道，其中流道包括靠近墨水源的流入区域，其中调节流入区域的面积以控制到喷射室中的墨水的流量。

主权项

1.一种用于形成打印头的方法，包括：在开始晶圆上沉积导体层，其中，开始晶圆包括用于打印头的控制电子器件；跨晶圆蚀刻电阻器窗口；在导体层和电阻器窗口上沉积电阻器层；对电阻器层和导体层进行蚀刻以形成迹线和电阻器；在迹线和电阻器上沉积钝化膜；在钝化膜上沉积防空穴膜；在钝化膜上沉积底漆层；设计流结构以至少部分地基于液滴尺寸来控制液滴生成器的再填充速率；在底漆层上形成流结构；以及在流结构上形成盖和喷嘴。