[发明专利]喷墨打印头

权利要求书

1.一种用于形成打印头的方法，包括：

在开始晶圆上沉积导体层，其中，开始晶圆包括用于打印头的控制电子器件；

跨晶圆蚀刻电阻器窗口；

在导体层和电阻器窗口上沉积电阻器层；

对电阻器层和导体层进行蚀刻以形成迹线和电阻器；

在迹线和电阻器上沉积钝化膜；

在钝化膜上沉积防空穴膜；

在钝化膜上沉积底漆层；

设计流结构以至少部分地基于液滴尺寸来控制液滴生成器的再填充速率；

在底漆层上形成流结构；以及

在流结构上形成盖和喷嘴。

2.如权利要求1所述的方法，包括使用可感光成像环氧树脂形成流结构，以及用于生成该结构的暴露掩膜。

3.如权利要求2所述的方法，包括以与较窄的电阻器交替的图案形成较宽的电阻器，其中每个电阻器之间的间距保持基本上恒定。

4.如权利要求1所述的方法，其中设计流结构包括交替沉积多个高滴重HDW液滴生成器与多个低滴重LDW液滴生成器，其中：

每个液滴生成器之间的间距基本上相同；

为每个高滴重HDW液滴生成器比为每个低滴重LDW液滴生成器提供更大的流入区域；以及

每个高滴重HDW液滴生成器的喷射室以及用于每个邻近的低滴重LDW液滴生成器的喷射室之间的壁厚度基本上相同。

5.如权利要求4所述的方法，包括形成用于每个高滴重HDW液滴生成器的喷射室和用于低滴重LDW液滴生成器的邻近的喷射室之间的壁通道，该壁通道至少是5微米宽。

6.如权利要求4所述的方法，包括为高滴重HDW液滴生成器形成大于18微米宽的流入区域。

7.如权利要求4所述的方法，包括为低滴重LDW液滴生成器形成小于12微米宽的流入区域。

8.如权利要求1所述的方法，包括在高滴重HDW液滴生成器的流入区域中降低底漆区域的深度。

9.如权利要求1所述的方法，包括在低滴重LDW液滴生成器的流入区域中增加底漆层的深度。

10.一种打印头，包括：

多个液滴生成器，其中每个邻近液滴生成器之间的间距基本上相同，并且多个液滴生成器在高滴重HDW液滴生成器与低滴重LDW液滴生成器之间交替；以及

从墨水源引入到与每个液滴生成器相关联的喷射室中的流道，其中流道包括靠近墨水源的流入区域，其中调节流入区域的面积以控制到喷射室中的墨水的流量;

其中所述打印头还包括低滴重LDW液滴生成器的流入区域中的较厚的底漆层，以及邻近的高滴重HDW液滴生成器的流入区域中的较薄的底漆层。

11.如权利要求10所述的打印头，其中每个喷射室之间的壁厚度基本上相同。

12.如权利要求10所述的打印头，包括比用于邻近的低滴重LDW液滴生成器的流入区域成比例地更宽的用于高滴重HDW液滴生成器的流入区域。

13.如权利要求10所述的打印头，包括可感光成像环氧树脂。

14.一种包括打印杆的打印机，其中所述打印杆包括打印头，所述打印头包括：

多个液滴生成器，其中每个邻近液滴生成器之间的间距基本上相同，以及多个液滴生成器在高滴重HDW液滴生成器与低滴重LDW液滴生成器之间交替；以及

从墨水源引入到与每个墨滴生成器相关联的喷射室中的流道，其中流道包括靠近墨水源的流入区域，其中调节流入区域的面积以控制到喷射室中的墨水的流量；

其中所述打印头还包括低滴重LDW液滴生成器的流入区域中的较厚的底漆层，以及邻近的高滴重HDW液滴生成器的流入区域中的较薄的底漆层。