[发明专利]激光照射装置在审
| 申请号： | 201480083028.4 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107078454A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 柿崎弘司;诹访辉;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;H01S3/101;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 该激光照射装置可以具备激光装置，其输出脉冲激光；光束扫描光学系统，其将从激光装置输出的脉冲激光分配至多个光路；多个光束均匀器，它们分别配置于多个光路，分别使分配至多个光路的脉冲激光的光强分布均匀化；以及控制部，其将光束扫描光学系统控制成，将从激光装置输出的脉冲激光按照每个脉冲分配至多个光路。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种激光照射装置，其具备：激光装置，其输出脉冲激光；光束扫描光学系统，其将从所述激光装置输出的脉冲激光分配至多个光路；多个光束均匀器，它们分别配置于所述多个光路，分别使分配至所述多个光路的所述脉冲激光的光强分布均匀化；以及控制部，其将所述光束扫描光学系统控制成，将从所述激光装置输出的脉冲激光按照每个脉冲分配至所述多个光路。
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