[发明专利]放电发生装置

摘要

本发明提供一种即使是大面积的被处理体也能够实施均匀的使用了自由基气体的处理的放电发生器及其电源装置。本发明所涉及的放电发生器及其电源装置具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)和n相逆变器电源装置(9)。在处理室装置(200)相邻配置自由基气体生成装置(100)，自由基气体生成装置(100)具有多个(n个)放电单元(70)。n相逆变器电源装置(9)采用具有能够对n相的交流电压进行输出控制的手段的电源电路结构，对应于所述放电单元(70)的设置位置对各相的交流电压进行可变控制。

主权项

一种放电发生器及其电源装置，其特征在于，具备：自由基气体生成装置(100)，其利用介电势垒放电，从原料气体(G1)生成自由基气体(G2)；处理室装置(200)，其与所述自由基气体生成装置连接，在内部配设有被处理体(202)，对该被处理体实施利用了所述自由基气体的处理；和电源装置(9)，其对所述自由基气体生成装置施加交流电压，所述处理室装置具有：工作台(201)，其载置所述被处理体，并使该被处理体旋转，所述自由基气体生成装置具有：多个放电单元(70)，其产生所述介电势垒放电；和原料气体供给部(101)，其向该自由基气体生成装置内供给所述原料气体，所述放电单元具有：第一电极部(3，5，31)，其具有第一电极构件(5，31)；第二电极部(1，2)，其与所述第一电极对置配设，并具有第二电极构件(1)；和开口部(102)，其与所述处理室装置内连接，面向配设在所述工作台上的所述被处理体，并输出通过所述介电势垒放电而从所述原料气体生成的所述自由基气体，所述电源装置采用输入1个交流电压并且能够对n相的交流电压进行输出控制的电源电路结构，将各相的所述交流电压施加于各所述放电单元，并对应于所述放电单元的设置位置对施加于所述放电单元的所述交流电压进行可变控制，在此，n是与所述放电单元的数量对应的数。