[发明专利]放电发生装置

权利要求书

1.一种放电发生装置，其特征在于，具备：

自由基气体生成装置(100)，其利用介电势垒放电，从原料气体(G1)生成自由基气体(G2)；

处理室装置(200)，其与所述自由基气体生成装置连接，在内部配设有被处理体(202)，对该被处理体实施利用了所述自由基气体的处理；和

电源装置(9)，其对所述自由基气体生成装置施加交流电压，

所述处理室装置具有：

工作台(201)，其载置所述被处理体，并使该被处理体旋转，

所述自由基气体生成装置具有：

多个放电单元(70)，其产生所述介电势垒放电；和

原料气体供给部(101)，其向该自由基气体生成装置内供给所述原料气体，

所述放电单元具有：

第一电极部(1，2)，其具有第一电极构件(1)，被配设在所述自由基气体生成装置的底面上；

第二电极部(3，5，31)，其与所述第一电极部对置配设，并具有第二电极构件(5，31)；和

开口部(102)，其被设置于所述第一电极部，贯通所述第一电极部，从而将所述自由基气体生成装置内与所述处理室装置内连接，面向配设在所述工作台上的所述被处理体，并输出通过所述介电势垒放电而从所述原料气体生成的所述自由基气体，

第一电极部被共同地设置于所述多个放电单元的全部放电单元，第二电极部与多个放电单元之中的一个放电单元对应地被设置，

所述电源装置采用输入1个交流电压并且能够对n相的交流电压进行输出控制的电源电路结构，将各相的所述交流电压施加于各所述放电单元，与所述放电单元相对于配设所述被处理体的所述工作台的旋转中心的设置位置对应地，对施加于所述放电单元的所述交流电压进行可变控制，在此，n是与所述放电单元的数量对应的数。

2.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

所述电源装置的电源电路结构包含n相逆变器和n相变压器，将各相的所述交流电压施加于各所述放电单元，在所述被处理体的俯视下，越是远离所述被处理体的旋转的中心位置而配设的所述放电单元，就越提高施加于该放电单元的所述交流电压。

3.根据权利要求2所述的放电发生装置，其特征在于，

所述电源装置对分割到各相的直流电流进行检测，并利用该检测的结果，对所述逆变器的脉冲宽度或者脉冲周期进行PID控制。

4.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

所述放电单元还具有：

电介质(2，3)，其面向发生所述介电势垒放电的放电空间而配设，

所述电介质由单晶蓝宝石或石英构成。

5.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

在所述自由基气体生成装置中，

内部的气体压力为10kPa～30kPa，

所述第一电极部与所述第二电极部的距离为0.3～3mm。

6.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

所述原料气体为氮气，

所述自由基气体生成装置从所述氮气生成氮自由基气体作为所述自由基气体，

所述处理室装置利用所述氮自由基气体，对所述被处理体成膜氮化膜。

7.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

所述原料气体为臭氧气体或者氧气，

所述自由基气体生成装置从所述臭氧气体或者氧气生成氧自由基气体作为所述自由基气体，

所述处理室装置利用所述氧自由基气体，对所述被处理体成膜氧化膜。

8.根据权利要求1所述的放电发生装置，其特征在于，

所述原料气体为氢气或者水蒸气，

所述自由基气体生成装置从所述氢气或者水蒸气生成氢自由基气体或者OH自由基气体作为所述自由基气体，

所述处理室装置利用所述氢自由基气体或者OH自由基气体，对所述被处理体成膜促进了氢键的金属膜。