[发明专利]基板搬运装置及构成为包含该基板搬运装置的对基板作业系统

摘要

基板搬运装置(24)构成为，具备用于搬运基板的一对传送带(64)及使被该一对传送带载置的基板上升的升降器(70、74、78)，在利用升降器使基板(S)上升的状态下，利用该一对传送带能够搬运其它的基板(S′)。另外，对基板作业系统构成为包括以上述方式构成的基板搬运装置及对利用该基板搬运装置的升降器进行上升的基板进行作业的对基板作业装置。尽管是仅具备一个搬运通道的简单构造，也能够进行基板相对于其它的基板的超越，实现具有实用性的基板搬运装置、对基板作业系统。

主权项

1.一种基板搬运装置，具备：一对传送带，分别载置基板的两端，通过各自回转而沿搬运方向搬运被载置的该基板；及升降器，使载置于所述一对传送带的基板以与所述一对传送带分离的方式上升，并且使上升的基板以载置于所述一对传送带的方式下降，在利用该升降器使一个基板上升的状态下，能够在所述一个基板的下方利用所述一对传送带搬运其它基板，所述升降器具有：支撑件，在所述一对传送带之间沿所述搬运方向延伸，并且两端中的至少一端向所述一对传送带的外侧延伸出，能够从下方支撑载置于所述一对传送带的基板；及支撑件升降机构，使该支撑件在所述两端中的至少一端进行升降，该基板搬运装置在利用所述支撑件升降机构上升后的所述支撑件的下方，能够通过所述一对传送带搬运所述其它基板。