[发明专利]基板搬运装置及构成为包含该基板搬运装置的对基板作业系统有效
| 申请号： | 201480074035.8 | 申请日： | 2014-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN106416451B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 城户隆志 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05K13/02 | 分类号： | H05K13/02;H05K13/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 构成 包含 作业 系统 | ||
【权利要求书】：
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