[发明专利]膜形成装置和膜形成方法

摘要

使喷墨头(3)的喷嘴(4)的排列宽度长度为基板(2)相对移动时的基板(2)的膜形成面(2A)的宽度方向最大长度以上，在完成两者(2、2A)的相对移动之前的期间内，对多个喷嘴(4)中的喷射膜液(6)的喷嘴(4)的个数进行可变控制，以使得喷射的膜液(6)的附着，在基板(2)的膜形成面(2A)与外周端部(2c)之间的边界处停止，以抑制膜液(6)从基板(2)的外周端部(2b)朝向背面(2c)侧附着。

主权项

1.一种膜形成装置，其构成为：使在宽度方向上排列有喷射膜液的多个喷嘴的喷墨头的喷射面和从所述喷嘴被喷射膜液的基板的膜形成面对置，在所述喷墨头和所述基板不旋转的状态下，使这两者在与所述宽度方向垂直的方向上相对移动，并且从所述喷嘴向所述基板的膜形成面喷射所述膜液，其特征在于，该膜形成装置构成为：使所述喷墨头的喷嘴的排列宽度长度为所述基板相对移动时的该基板的膜形成面的宽度方向最大长度以上，在完成所述两者的相对移动之前的期间内，对所述多个喷嘴中的喷射膜液的喷嘴的个数进行可变控制，以使得所述喷射的膜液的附着，在所述基板的膜形成面与外周端部之间的边界处停止，以抑制所述膜液从所述基板的外周端部朝向背面侧附着，将所述基板的膜形成面划分为矩形区域和所述矩形区域之外的多个非矩形区域，该矩形区域的角部与该膜形成面的外周端相接且该矩形区域由与所述相对移动的方向平行的两边和与该方向垂直的两边构成，在所述相对移动的方向上将所述多个非矩形区域分别划分为多个部分区域，根据所述多个部分区域的异别，对所述喷射膜液的喷嘴的个数和从所述喷嘴喷射的膜液的喷射量进行不同的控制，该控制是消除分别产生于所述多个非矩形区域的串扰现象的控制。