[发明专利]膜形成装置和膜形成方法有效
申请号: | 201480072747.6 | 申请日: | 2014-01-10 |
公开(公告)号: | CN105960288B | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 小泽康博;吉冈正博 | 申请(专利权)人: | 株式会社石井表记 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05D1/26 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 装置 方法 | ||
【说明书】:
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