[发明专利]观察晶锭生长过程的视见部件及包括其的晶锭生长装置有效
| 申请号： | 201480070054.3 | 申请日： | 2014-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN105829587B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 金成赫;罗光夏;张现洙 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张铮铮;姚开丽 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于观察晶锭生长过程的视见部件，根据实施方式，所述视见部件用于观察腔室的内部，所述腔室提供了进行晶锭生长过程的空间，所述视见部件包括：主体部，所述主体部布置在所述腔室的一侧，并且具有与所述腔室的内部相连的孔；窗口，所述窗口插入所述主体部的孔中以维持所述腔室的密封状态，并且使光从所述腔室的内部透过所述窗口；以及窗口吹扫部，安装在所述主体部的侧表面上来形成空气幕以防止外部空气进入所述窗口。根据实施方式，所提出的视见部件具有的优点是：不仅防止玻璃的污染还能对污染的玻璃进行自清洁。因此，通过所述视见部件能够清楚地观察在所述腔室的内部生长的晶锭，并且因此基于准确观察的过程数据来确定过程条件，从而生产高质量的晶锭。 | ||
| 搜索关键词： | 晶锭 腔室 主体部 生长过程 观察 玻璃 过程数据 过程条件 密封状态 生长装置 外部空气 侧表面 观察腔 空气幕 自清洁 吹扫 污染 生长 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于观察腔室的内部的视见部件，所述腔室提供用于在其内进行晶锭生长过程的空间，所述视见部件包括：主体部，所述主体部布置在所述腔室的一侧，并且具有与所述腔室的内部相连的孔；窗口，所述窗口插入所述主体部的孔中以维持所述腔室密封状态，并且使光从所述腔室的内部透过所述窗口；以及窗口吹扫部，所述窗口吹扫部用于朝向所述窗口喷射气体；其中，所述窗口吹扫部包括：吹扫主体，所述吹扫主体与所述主体部的上侧联接并且具有与所述主体部的孔相连的吹扫孔；气体喷射单元，所述气体喷射单元从所述吹扫主体的一侧喷射气体并且形成空气幕；气体导向件，所述气体导向件设置在所述吹扫主体中；以及多个排气口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱思开矽得荣株式会社，未经爱思开矽得荣株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480070054.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
