[发明专利]观察晶锭生长过程的视见部件及包括其的晶锭生长装置有效
| 申请号： | 201480070054.3 | 申请日： | 2014-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN105829587B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 金成赫;罗光夏;张现洙 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张铮铮;姚开丽 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶锭 腔室 主体部 生长过程 观察 玻璃 过程数据 过程条件 密封状态 生长装置 外部空气 侧表面 观察腔 空气幕 自清洁 吹扫 污染 生长 生产 | ||
【权利要求书】：
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