[发明专利]真空排气机构、复合式真空泵以及旋转体部件

摘要

真空泵具有西格班式分子泵部，在该西格班式分子泵部内的外周（外侧）的折返流路中，具有用于增大流导率的构造，所述西格班式分子泵中，在配设的固定圆板和配设的旋转圆板中的至少某一个上，刻设（配设）有螺旋状槽，该螺旋状槽具有峰部和谷部。借助形成于旋转圆板上的连通部（槽部、狭缝），或者设置于固定圆板上的斜板与旋转圆板上形成的连通部，前述增大流导率的构造形成于真空泵的内部。“连通部”、“槽部”、“狭缝”呈现“凹陷”状的形态，在旋转圆板（或者固定圆板）中，从外径部朝向内径方向（在真空泵中是朝向设置有轴的一侧）刻设槽，由此形成凹陷部。

主权项

 一种真空排气机构，具备外包装体、旋转轴、旋转体部件、固定圆板状部、间隔件部，其中前述外包装体形成有吸气口与排气口，前述旋转轴被前述外包装体包含在内，旋转自如地被支承，前述旋转体部件具有旋转圆板状部，该旋转圆板状部配设在前述旋转轴上或者圆筒体的外周面上，前述圆筒体配设在前述旋转轴上，前述固定圆板状部与前述旋转圆板状部同心设置，且与前述旋转圆板状部隔着间隙在轴向上对置，前述间隔件部与前述固定圆板状部分体形成或者与前述固定圆板状部一体形成，并固定该固定圆板状部，所述真空排气机构借助前述旋转圆板状部与前述固定圆板状部的相互作用，将从前述吸气口侧吸入的气体向前述排气口侧移送，其特征在于，前述旋转圆板状部或者前述固定圆板状部中的至少一个，在前述轴向上的对置面的至少一部分上配设有具有谷部和峰部的螺旋状槽，前述旋转圆板状部在外周部的至少一部分上配设有槽部，该槽部连通该旋转圆板状部的前述吸气口侧的面与前述排气口侧的面。