[发明专利]真空排气机构、复合式真空泵以及旋转体部件在审
申请号: | 201480069353.5 | 申请日: | 2014-10-29 |
公开(公告)号: | CN105829729A | 公开(公告)日: | 2016-08-03 |
发明(设计)人: | 野中学;桦泽刚志 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张雨;李婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 排气 机构 复合 真空泵 以及 旋转体 部件 | ||
【说明书】:
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