[发明专利]用于监测真空反应器设备中的硒蒸气的方法在审
| 申请号： | 201480061371.9 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105765101A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | A·C·沃尔;S·高;J·K·金;B·D·赫克特曼;江祥忠;卡宁罗斯·巴仑·波特 | 申请（专利权）人： | 纽升股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示用于监测真空反应器设备中的蒸气的方法和系统。一种系统具有：(a)真空腔室；(b)容纳在所述真空腔室中的蒸气源，其中所述蒸气源经配置以产生蒸气；(c)容纳在所述真空腔室中且耦合到所述蒸气源的反应容器，其中所述反应容器具有通往所述真空腔室的出口，且其中所述反应容器经配置以从所述蒸气源接收所述蒸气且经由所述出口将所述所接收蒸气的一部分排放到所述真空腔室中；以及(d)容纳在所述真空腔室中的一个或多个传感器，其中所述一个或多个传感器经配置以检测经由所述出口排放的所述蒸气。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监测 真空 反应器 设备 中的 蒸气 方法 | ||
【主权项】：
一种系统，其包括：真空腔室；容纳在所述真空腔室中的蒸气源，其中所述蒸气源经配置以产生蒸气；容纳在所述真空腔室中且耦合到所述蒸气源的反应容器，其中所述反应容器具有通往所述真空腔室的出口，且其中所述反应容器经配置以从所述蒸气源接收所述蒸气且经由所述出口将所述所接收蒸气的一部分排放到所述真空腔室中；以及容纳在所述真空腔室中的一个或多个传感器，其中所述一个或多个传感器经配置以检测经由所述出口排放的所述蒸气。
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