[发明专利]节流阀中的粉末和沉积物控制有效
| 申请号： | 201480060565.7 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105745478B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | Y·顾;M·C·格鲁 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | F16K1/16 | 分类号： | F16K1/16;B01D53/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 节流阀(10)中的粉末和沉积物控制包括阀体(32)中的形成环形集气室(46、146)的喷嘴插件(50、150)，及用于以与该阀体(32)的内壁表面(31)相邻的方式喷射清洁气体的环形流(54、154)的环形喷嘴(52、152)，用于将粉末和沉积物从该阀体(32)中的表面及从该节流阀(10)的关闭构件(14)清洁出去。该清洁气体的环形流(54、154)可以是间歇的、周期性的或呈脉冲喷发的形式或处于稳态流速，以将粘附到该节流阀(10)的内表面的粉末颗粒剥离掉，以蚀刻或反应性地清洁固态沉积物，或以防止或减少粉末颗粒或固态沉积物在该节流阀(10)中的累积。 | ||
| 搜索关键词： | 节流阀 中的 粉末 沉积物 控制 | ||
【主权项】：
阀设备，包括：具有流动通道的阀体，所述阀体带有被定位在所述阀体中、介于所述流动通道的入口端和出口端之间的关闭构件；所述流动通道中的喷嘴插件，所述喷嘴插件在所述流动通道中形成环形孔，从而能够引导由所述环形孔形成的环形流喷射到所述关闭构件上；围绕所述喷嘴插件的环形集气室，所述环形集气室与所述环形孔流体连通，其中，所述环形集气室包括围绕所述流动通道延伸到所述阀体的一端中的环形通道，并且所述环形通道由所述喷嘴插件围绕所述流动通道封闭住以形成所述环形集气室；以及辅助管道，所述辅助管道以成流体流关系的方式连接于所述环形集气室。
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