[发明专利]电磁致动器用电枢线圈、电磁致动器、曝光装置及器件制造方法在审
| 申请号： | 201480059115.6 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN105684108A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 伊藤彰浩;纐纈雅之;森本树;吉元宏充;田中幸次 | 申请（专利权）人： | CKD株式会社;株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01F7/06 | 分类号： | H01F7/06;H02K41/02;H02K41/03 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种构成X轴线性马达的固定件并通过通电来产生磁场的电枢线圈(60)具有：带状的导电层(62a)，由铜形成，卷绕于规定的绕线轴；带状的绝缘层(62b)，设于导电层(62a)的相对的面部之间，使相对的导电层(62a)彼此间电气绝缘；粘接层(62c)，将导电层(62a)的相对的面之间隔着绝缘层(62b)粘接起来。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 器用 电枢 线圈 致动器 曝光 装置 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电磁致动器用电枢线圈，其通过将带状的绕线绕规定的绕线轴卷绕多圈而形成，其特征在于，所述绕线具有带状的导电体和设于所述导电体的一面侧的带状的绝缘体。
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