[发明专利]电磁致动器用电枢线圈、电磁致动器、曝光装置及器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电磁致动器用电枢线圈、电磁致动器、曝光装置 及器件制造方法，更详细来说，涉及一种用于线性马达等电磁致动器 的电枢线圈、使用该电枢线圈的电磁致动器、使用该电磁致动器的曝 光装置以及使用该曝光装置的器件制造方法。

背景技术

以往，在制造半导体元件(集成电路等)、液晶显示元件等电子 器件(微型器件)的光刻工序中所使用的例如步进-重复(stepand repeat)方式的投影曝光装置(所谓的步进机(stepper))或者步进- 扫描(stepandscan)方式的投影曝光装置(所谓的步进式扫描机 (scanning-stepper))中，将例如线性马达等电磁致动器用于对作为 曝光对象的晶圆或者玻璃板(以下，统称为晶圆)的位置控制。

此处，已知作为在曝光装置中使用的电磁致动器所具有的电枢线 圈的绕线(导线)而使用了细长的带状电线(所谓的扁线(strip)) (例如，参照专利文献1)。

此处，作为电磁致动器用电枢线圈，最好是既能确保绕线匝数又 能小型化的电枢线圈。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6,891,600号说明书

发明内容

本发明是在上述情况下提出的，若从第一种观点出发，则提供一 种电磁致动器用电枢线圈，其通过将带状的绕线绕规定的绕线轴卷绕 多圈而形成的，所述绕线具有带状的导电体、和设于所述导电体的一 面侧的带状的绝缘体。

由此，利用绝缘体阻隔在被卷绕于绕线轴的状态下相对的(重叠 的)导电体间导通(防止电气短路)。由于绝缘体形成为带状，所以 与假设用绝缘物覆盖导电体的整个表面的情况相比，能够缩小线圈的 径向的尺寸。

若从第二种观点出发，则本发明提供一种电磁致动器，该电磁致 动器具有：设于可动件以及固定件中的一方的本发明的电磁致动器用 电枢线圈；以及设于所述可动件以及固定件中的另一方的磁体，通过 所述电磁致动器用电枢线圈与所述磁体的电磁相互作用，而在所述电 磁致动器用电机线圈与所述磁体之间产生推力。

若从第三种观点出发，则本发明提供一种曝光装置，该曝光装置 具有：移动体，其保持规定的物体，并利用本发明的电磁致动器所产 生的所述推力来移动；以及图案形成装置，其使用能量束在所述移动 体所保持的所述物体上形成规定的图案。

若从第四种观点出发，则本发明提供一种器件制造方法，该器件 制造方法包括如下的步骤：使用本发明的曝光装置来对所述物体进行 曝光；以及使曝光了的所述物体显影。

附图说明

图1是概略地示出一个实施方式的曝光装置的结构的图。

图2是示出图1的曝光装置所具有的载台装置的立体图。

图3的(A)是示出图2的载台装置所具有的X轴用的固定件的 立体图，图3的(B)是图3的(A)的固定件所具有的线圈单元的 立体图。

图4的(A)是图3的(B)的线圈单元所具有的线圈的立体图， 图4的(B)是沿着图4的(A)的B-B线的剖视图。

图5是示出以曝光装置的控制系统为中心而构成的主控制装置的 输入输出关系的框图。

具体实施方式

以下，针对一个实施方式，使用图1～图5进行说明。

在图1中概略地示出一个实施方式的曝光装置10的结构。曝光 装置10是步进-扫描方式的投影曝光装置，是所谓的扫描仪(scanner)。 如后文所述，在本实施方式中设有投影光学系统16b，以下，以与投 影光学系统16b的光轴AX平行的方向作为Z轴方向，以在与Z轴方 向正交的平面内光罩R与晶圆W相对扫描的方向作为Y轴方向，以 与Z轴以及Y轴正交的方向作为X轴方向，以绕X轴、Y轴以及Z 轴的旋转(倾斜)方向分别作为θx、θy以及θz方向来进行说明。

曝光装置10具有照明系统12、光罩载台14、投影单元16、包含 晶圆载台30在内的载台装置20以及它们的控制系统等。在晶圆载台 30上载置有表面上涂敷了抗蚀剂(感光剂)的晶圆W。