[发明专利]电极及其制造方法在审
| 申请号： | 201480058893.3 | 申请日： | 2014-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105683884A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 志田阳子;越智元隆;后藤裕史 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;C22C21/00;C22C22/00;G06F3/044;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种优选用于以电容方式的触控面板传感器等为代表的输入装置中的电阻率低且反射率低的新型电极；及其制造方法。该电极是具有如下层叠结构的电极：由Al膜或Al合金膜构成的第1层；以及包含Al及选自Mn、Cu、Ti和Ta中的至少一种元素的Al合金的第2层，其一部分氮化。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电极，其特征在于，具有如下层叠结构：由Al膜或Al合金膜构成的第1层；以及包含Al及选自Mn、Cu、Ti和Ta中的至少一种元素的Al合金的第2层，其一部分氮化。
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