[发明专利]电极及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及输入装置等中使用的电极及其制造方法。以下，作为输入装置的代表 例举触控面板传感器为例进行说明，但本发明不限于此。

背景技术

触控面板传感器贴合于液晶显示装置、有机EL装置等显示装置的显示画面上作为 输入装置来使用。触控面板传感器由于其使用方便的优点，被用于银行的ATM、售票机、导航 系统、PDA(PersonalDigitalAssistants、个人用便携信息终端)、复印机的操作画面等， 近年来被广泛使用至便携电话、平板PC。其输入点的检测方式中，可以举出电阻膜方式、电 容方式、光学式、超声波表面弹性波方式、压电式等。这些之中，便携电话、平板PC中，电容方 式由于响应性良好、不花费成本、结构简单等理由而适宜使用。

电容方式的触控面板传感器具有如下结构作为一例：在玻璃基板等透明基板上， 两个方向的透明电极正交配置，在其表面被覆有保护玻璃等作为绝缘体的罩。若用手指或 笔等触碰上述构成的触控面板传感器的表面，则两透明电极间的电容发生变化，由此能够 通过用传感器感知流经该电容的电流量的变化，来把握被触碰的部位。

作为用于上述构成的触控面板传感器的透明基板，可以使用触控面板传感器专用 的基板，还可以使用用于显示装置的透明基板。具体来说，例如，可以举出用于液晶显示装 置的彩色过滤基板、用于有机EL装置的玻璃基板等。通过使用这样的显示装置用透明基板， 能够应对对于触控面板传感器要求的特性，例如显示器的对比度比的提高、亮度的提高、智 能手机等的薄型化等。

最近，为了提高使用上述透明电极时的接触灵敏度、降噪，作为电极，正在研究使 用低电阻的金属电极。

然而，金属电极由于反射率高、使用者的肉眼能看到即可视，因此存在对比度比降 低的问题。因此，在使用金属电极的情况下，采用对金属膜实施黑色化处理，使反射率降低 等的方法。

例如专利文献1中，记载有为了解决将导电性透明图案单元相互连接的桥电极的 可视性问题，在形成于导电性图案单元的绝缘层上使用黑色的导电材料形成桥电极的方 法。具体来说，作为桥电极，例示有将Al、Au、Ag、Sn、Cr、Ni、Ti或Mg金属通过与试药的反应而 使其黑色化为氧化物、氮化物、氟化物等的方法。然而，专利文献1中，只不过公开了通过金 属的黑色化处理使桥电极的反射率降低的技术，而完全没有留意电阻率的降低。因此，上述 例示中，还包含金属的氧化物那样的高电阻率的物质，而不能应用于低电阻率配线用电极。 另外，上述专利文献1中，还包含像Ag的氮化物、Mg的氧化物等那样反应性高而危险的物质， 而缺乏实用性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-127792号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种薄层电阻低、且反射率低的新 型电极；及其制造方法，所述电极是优选以电容方式的触控面板传感器等为代表的输入装 置中使用的电极。

用于解决问题的手段

能够解决上述课题的本发明的电极具有如下要点：所述电极具有如下层叠结构： 由Al膜或Al合金膜构成的第1层；以及包含Al及选自Mn、Cu、Ti和Ta中的至少一种元素的Al 合金的第2层，其一部分氮化。

本发明的优选实施方式中，所述层叠结构还具有透明导电膜作为第3层。

本发明的优选实施方式中，所述第2层的波长450nm、波长550nm和波长650nm的消 光系数有0.15以上。

本发明的优选实施方式中，所述第2层包含14原子％以上且57原子％以下的氮原 子。

本发明的优选实施方式中，所述电极在所述第1层至少一面具有Mo膜。

本发明的优选实施方式中，所述第2层中所述的Al合金包含Al及选自Mn和Cu中的 至少一种元素。

本发明的优选实施方式中，所述第3层为由至少包含In和Sn的氧化物构成的透明 导电膜、或由至少包含In和Zn的氧化物构成的透明导电膜。

本发明的优选实施方式中，所述第1层电阻率为20μΩ·cm以下。

本发明的优选实施方式中，所述第1层Al合金膜包含Al及选自Nd、Cu、Mn、Ta、Ge、 La、Zr和Ni中的至少一种元素。