[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

摘要

本发明的目的在于提供一种金属板，该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下，各样品中的热复原率的平均值为‑10ppm以上且+10ppm以下，且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。

主权项

一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法，其中，所述蒸镀掩模的所述贯通孔是通过对所述金属板进行蚀刻而形成的，所述金属板的制造方法具备下述工序：轧制工序，在该工序中，对母材进行轧制而得到所述金属板；和退火工序，在该工序中，将通过所述轧制工序得到的所述金属板退火，在对由所述金属板取出的2个以上的样品实施热处理前后进行测定，将各样品上的2个测定点间的距离分别设为L1和L2，将所述各样品的热复原率F用下式定义的情况下，满足以下的条件(1)、(2)，(1)所述各样品中的热复原率的平均值为‑10ppm以上且+10ppm以下；和(2)所述各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下；所述样品是通过下述方式得到的：沿着所述金属板的宽度方向切断所述金属板而得到至少1个样品金属板，将该至少1个样品金属板沿着所述金属板的长度方向切断成2个以上，由此得到所述样品，所述样品上的所述2个测定点沿着所述金属板的长度方向排列，所述热处理包括：用30分钟将所述各样品的温度从25℃升温至300℃的第1工序；将所述各样品的温度在300℃保持5分钟的第2工序；和用60分钟将所述各样品的温度从300℃降温至25℃的第3工序，所述热复原率的偏差是通过将所述各样品中的热复原率的标准偏差乘以3而计算出的值。