[发明专利]2，2，4，4-四甲硅烷基五硅烷及其组合物、方法和用途有效
| 申请号： | 201480054107.2 | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN105593233B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 萧冰·周 | 申请（专利权）人： | 道康宁公司 |
| 主分类号： | C07F7/02 | 分类号： | C07F7/02;C01B33/04;C23C16/24;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了作为2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷的化合物、包含其的化学组合物、制备和纯化2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷的方法、由此制备的纯化的2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷以及使用2，2，4，4‑四甲硅烷基五硅烷作为前体来形成含硅材料的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 及其 组合 方法 用途 | ||
【主权项】：
一种化合物，所述化合物为2,2,4,4‑四甲硅烷基五硅烷。
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