[发明专利]感活性光线性或感放射线性树脂组合物、膜及化合物有效
| 申请号： | 201480053035.X | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN105593760B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 山口修平;土村智孝;横川夏海;高桥孝太郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C07D239/36;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物、感活性光线性或感放射线性膜、具备感活性光线性或感放射线性膜的空白掩模、图案形成方法、电子器件的制造方法、电子器件及新型化合物。本发明的感活性光线性或感放射线性树脂组合物的特征在于，含有碱溶性树脂(A)及下述通式(1‑0)所表示的交联剂(C)。[化学式1] | ||
| 搜索关键词： | 活性 线性 放射 树脂 组合 备感 空白 图案 形成 方法 电子器件 制造 新型 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物，其特征在于，/n含有碱溶性树脂(A)及下述通式(1-0)所表示的交联剂(C)，/n
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