[发明专利]感活性光线性或感放射线性树脂组合物、膜及化合物有效
申请号: | 201480053035.X | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN105593760B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 山口修平;土村智孝;横川夏海;高桥孝太郎 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;C07D239/36;G03F7/004;H01L21/027 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 活性 线性 放射 树脂 组合 备感 空白 图案 形成 方法 电子器件 制造 新型 化合物 | ||
1.一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
含有碱溶性树脂(A)及下述通式(1-0)所表示的交联剂(C),
式中,
X1、X2各自独立地表示氢原子、烷基、羟基甲基或烷氧基甲基;
Y0、Y1各自独立地表示碳原子、氮原子或氧原子;
l个X1及n个X2中的至少一个为羟基甲基或烷氧基甲基,Y0及Y1中的至少一者为被该羟基甲基或烷氧基甲基取代的氮原子;
Y2表示单键或亚烷基;
Z表示m价连接基团;
关于l,当Y0为碳原子时l=3,当Y0为氮原子时l=2,当Y0为氧原子时l=1;
关于n,当Y1为碳原子时n=2,当Y1为氮原子时n=1,当Y1为氧原子时n=0;
m表示2至6的整数;
X1、X2及Y2中的两个可以键合而形成环;
通式(1-0)中,Z由下述通式(2)表示,
式中,
Y3及Y4各自独立地表示单键、碳原子、氮原子或氧原子;
X3及X4各自独立地表示氢原子或烷基;
关于n1、n2,当Y3、Y4为单键或氧原子时分别为0,当Y3、Y4为氮原子时分别为1,当Y3、Y4为碳元素时分别为2;
Z2表示链状或环状的饱和烃基、芳香族烃基、或将它们的两种以上组合的基团;
当X1和Y2键合形成环时,Z2表示芳香族烃基;
m表示2~6的整数,与通式(1)中的m对应;
*表示与通式(1-0)中的Y2的连接部位。
2.根据权利要求1所述的感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
交联剂(C)由下述通式(1)表示,
式中,
R表示氢原子或烷基;
X1、X2各自独立地表示氢原子、烷基、羟基甲基或烷氧基甲基;
Y1表示碳原子、氮原子或氧原子;
Y2表示单键或亚烷基;
Z表示通式(2)表示的m价连接基团;
关于n,当Y1为碳原子时n=2,当Y1为氮原子时n=1,当Y1为氧原子时n=0;
m表示2至6的整数;
X1、X2及Y2中的两个可以键合而形成环。
3.根据权利要求1或2所述的感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
还含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物(B)。
4.根据权利要求3所述的感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物(B)为锍盐。
5.根据权利要求1或2所述的感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
交联剂(C)的分子量为450以上。
6.根据权利要求1所述的感活性光线性或感放射线性树脂组合物,其特征在于,
交联剂(C)的分子量为450以上且1500以下。
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