[发明专利]用于使用激光维持等离子体照明输出对样本进行成像的系统及方法

摘要

本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。

主权项

一种用于使用激光维持等离子体照明输出对样本进行成像的系统，其包括：激光维持等离子体照明子系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生包含一或多个第一所选择波长的泵浦照明；气体容纳元件，其经配置以容纳一定体积的气体；收集器，其经配置以将来自所述泵浦源的所述泵浦照明聚焦到容纳于所述气体容纳元件内的所述一定体积的气体中，以便在所述一定体积的气体内产生等离子体，其中所述等离子体发射包含一或多个第二所选择波长的宽带辐射；样本载物台，其用于固定一或多个样本；成像子系统，其包含：照明子系统，其经配置以使用从所述激光维持等离子体照明子系统的所述等离子体发射的所述宽带辐射的至少一部分经由照明路径而照明所述一或多个样本的表面；检测器；物镜，其经配置以收集来自所述样本的表面的照明，且将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器，以形成所述一或多个样本的所述表面的至少一部分的图像；及吹扫室，其容纳所选择吹扫气体且经配置以吹扫所述照明路径及所述收集路径的至少一部分。