[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201480051678.0 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN105555901A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 铃木章太;井泽由裕 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请发明为如下的技术方案：一种研磨用组合物，其含有：在表面固定化有满足下述条件(1)和(2)的至少一者的官能团而得到的二氧化硅、以及pH调节剂，条件(1)：前述官能团具有氨基；条件(2)：前述官能团具有卤素基团，本申请发明的研磨用组合物能够充分控制含Si材料的研磨速率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其含有：在表面固定化有满足下述条件(1)和(2)的至少一者的官能团而得到的二氧化硅、以及pH调节剂，条件(1)：所述官能团具有氨基；条件(2)：所述官能团具有卤素基团。
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