[发明专利]具有改进的正交补偿的陀螺仪结构和陀螺仪

摘要

提供了一种微机电陀螺仪结构，该微机电陀螺仪结构包括震动质量块、本体元件以及使震动质量块悬挂于本体元件的弹簧结构件。在主振荡中，震动质量块的至少一部分在平面外方向上振荡。第一导体被布置成与震动质量块一起移动，并且第二导体附接至本体元件。导体包括沿第一方向和第三方向延伸的相邻的表面。电压元件被布置成在第一表面与第二表面之间产生电势差并且由此在第二方向上引发静电力，该静电力是通过震动质量块的主振荡来调制的。

主权项

1.一种微机电陀螺仪结构，包括：震动质量块；本体元件；弹簧结构件，使所述震动质量块悬挂于所述本体元件以允许主振荡和副振荡，在所述主振荡中，所述震动质量块的至少一部分被激励以在第一方向上振荡，在所述副振荡中，所述震动质量块的至少一部分在与所述第一方向垂直的第二方向上移动，并且所述震动质量块包括沿所述第二方向并且沿第三方向以平面的方式延伸的表面平面，其中，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直；第一导体，被布置成与所述震动质量块一起移动，所述第一导体包括在所述震动质量块上沿所述第一方向和所述第三方向延伸的第一表面；第二导体，附接至所述本体元件，并且包括沿所述第一方向和所述第三方向延伸且与所述第一表面相邻的第二表面；电压元件，被布置成在所述第一表面与所述第二表面之间产生电势差，由此在所述第二方向上引发静电力，所述静电力是通过所述震动质量块的所述主振荡来调制的。