[发明专利]试样支架以及带电粒子装置有效
| 申请号： | 201480046171.6 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN105493225B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 长久保康平;长冲功;松本弘昭;佐藤岳志 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 支架 以及 带电 粒子 装置 | ||
【主权项】：
一种试样支架，其特征在于，该试样支架位于带电粒子装置的试样室中，且具备：用于将试样附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管；在试样上部设置的带电粒子通过的带电粒子通路孔，该带电粒子通路孔具备从试样发出的二次电子能通过的孔径；以及位于试样下部的带电粒子通路孔兼气体排气孔，其孔径比试样上部的带电粒子通路孔大，从而能积极地进行气体导入时的排气。
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