[发明专利]试样支架以及带电粒子装置

权利要求书

1.一种试样支架，其特征在于，

该试样支架位于带电粒子装置的试样室中，且具备：

用于将试样附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管；

在试样上部设置的带电粒子通过的带电粒子通路孔，该带电粒子通路孔具备从试样发出的二次电子能通过的孔径；以及

位于试样下部的带电粒子通路孔兼气体排气孔，其孔径比试样上部的带电粒子通路孔大，从而能积极地进行气体导入时的排气。

2.根据权利要求1所述的试样支架，其特征在于，

通过具备能够加热试样的加热器，能观察试样加热时的气体环境中的试样的状态。

3.根据权利要求1所述的试样支架，其特征在于，

具备一个以上与位于试样下部的带电粒子通路孔兼气体排气孔不同的气体排气孔。

4.根据权利要求1所述的试样支架，其特征在于，

具备用于确认试样附近的压力的微小压力测量元件。

5.根据权利要求1所述的试样支架，其特征在于，

试样支架前端部的盖通过准备多个与上述带电粒子通路孔兼气体排气孔的孔径不同的孔径，使得使用者能够根据试样附件的压力条件进行选择。

6.根据权利要求1所述的试样支架，其特征在于，

具备能通过不同的带电粒子进行从加工至观察的一系列的流程，能相对于带电粒子的照射方向任意改变试样方向的结构。

7.一种带电粒子装置，其特征在于，

具备：

根据权利要求1所述的试样支架；

产生带电粒子的带电粒子发生源；

调整从该带电粒子发生源产生的带电粒子的照射方向的透镜；以及

检测从该试样产生的二次电子的检测器，

构成为，通过从上述带电粒子发生源照射的带电粒子的照射方向与上述试样支架的带电粒子通路孔的轴偏离，由上述透镜调整从上述带电粒子发生源产生的带电粒子的照射方向，从而从上述带电粒子发生源产生的带电粒子通过上述带电粒子通路孔向上述试样照射，从上述试样产生的二次电子通过上述带电粒子通路孔从上述试样支架释放，并由上述检测器检测。