[发明专利]防污染阱以及真空应用装置有效
| 申请号： | 201480045594.6 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN105474348B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 水尾考志;丹波裕介;波多野治彦;二村和孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/16 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 污染 以及 真空 应用 装置 | ||
【主权项】：
一种防污染阱，在真空应用装置的真空试样室的内部配置有其冷却部，其特征在于，具备向上述冷却部的内部供给制冷剂的导入管、和排出上述冷却部的内部的气化制冷剂的排出管，在上述导入管的内部插入有上述排出管。
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