[发明专利]低颗粒气体封闭系统和方法有效
| 申请号： | 201480045349.5 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105431294B | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | J.莫克;A.S-K.高;E.弗龙斯基;S.阿尔德森;A.斯特帕诺夫 | 申请（专利权）人： | 科迪华公司 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 佘鹏,董均华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本教导涉及能够具有各种部件的气体封闭系统的各种实施例，所述各种部件包括能够提供靠近基板的低颗粒区的颗粒控制系统。颗粒控制系统的各种部件能够包括气体循环和过滤系统、用于使印刷头组件相对于基板移动的低颗粒产生运动系统、服务束壳体排放系统以及印刷头组件排放系统。除了维持包括例如水蒸气和氧气之类的各种反应性大气气体的各种反应性物种中的每个物种的充分低的水平之外，对具有颗粒控制系统的气体封闭系统的各种实施例而言，能够容易地符合基板上的颗粒规范。因此，根据本教导的系统和方法在惰性、低颗粒气体环境中处理各种基板能够具有大幅降低的制造缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 气体 封闭系统 方法 | ||
【主权项】：
一种气体封闭系统，包括：气体封闭组件，其限定包含气体的内部；收容在所述气体封闭组件内的工业印刷系统，所述工业印刷系统包括：包括至少一个印刷头的印刷头组件；基板支撑设备；以及用于收容服务束的服务束壳体，所述服务束操作上连接到所述印刷系统；服务束壳体排放系统，其用于排放靠近所述服务束壳体的气体使之远离所述基板支撑设备；以及印刷头组件排放系统，所述印刷头组件排放系统用于排放靠近所述印刷头组件的气体使之远离所述基板支撑设备。
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