[发明专利]内置波长测定装置的外部谐振器型激光器

摘要

本发明涉及一种具有波长测定装置的外部谐振器型激光器，与激光器二极管芯片的驱动电流无关地，能够以插入谐振器内的波长选择性过滤器的透过波长带域为基准而精密地测定激光的波长。根据本发明的外部谐振器型激光器装置，包括：激光器二极管芯片(100)，发散激光；光反馈用部分反射镜(500)，部分反射从所述激光器二极管芯片(100)发散的光而重新反馈到激光器二极管芯片(100)；准直化透镜(200)，设置于所述激光器二极管芯片(100)与光反馈用部分反射镜(500)之间的光路径上，准直化从激光器二极管芯片(100)发散的光；45度部分反射镜(300)，使得与封装底面水平的激光方向转换成与封装底面垂直；波长选择性过滤器(400)，使已选择的特定波长的光透过；光强度监视用光电二极管(600)，布置于从准直化透镜(200)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上；波长监视用光电二极管(700)，布置于从波长选择性过滤器(400)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上。流经波长监视用光电二极管(700)的光电流的大小根据从激光器二极管芯片(100)发振的光输出强度与波长选择性过滤器(400)中的反射率而变得不同，流经光强度监视用光电二极管(600)的光电流根据从激光器二极管芯片(100)输出的光输出强度而决定，因此流经波长监视用光电二极管(700)的光电流除以流经光强度监视用光电二极管(600)的光电流的值仅依赖波长选择性过滤器(400)中的反射率。因此，利用流经波长监视用光电二极管(700)的光电流除以流经光强度监视用光电二极管(600)的光电流的值，以波长选择性过滤器(400)的透过带域波长为基准而提供激光的波长的信息，通过测定此而能够知道激光的波长，能够将激光的波长非常精密地决定为预先设定的波长。

主权项

1.一种外部谐振器型激光器装置，其特征在于，包括：激光器二极管芯片(100)，发散激光；准直化透镜(200)，设置于所述激光器二极管芯片(100)与光反馈用部分反射镜(500)之间的光路径上，准直化从激光器二极管芯片(100)发散的光；45度部分反射镜(300)，使得与封装底面水平的激光方向转换成与封装底面垂直，并具有部分反射和部分透过特征；波长选择性过滤器(400)，使已选择的特定波长的光透过，设置于垂直穿过45度部分反射镜(300)的光路径上，并位于45度部分反射镜(300)的上部；光反馈用部分反射镜(500)，部分反射从所述激光器二极管芯片(100)发散的光通过波长选择性过滤器(400)返回至45度部分反射镜(300)，透过激光束剩余部分，并且设置于垂直穿过45度部分反射镜(300)的光路径上，并位于波长选择性过滤器(400)的上部；光强度监视用光电二极管(600)，接收激光器二极管芯片(100)发散的激光束中穿过45度部分反射镜(300)的激光束，布置于从准直化透镜(200)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上；波长监视用光电二极管(700)，接收被光反馈用部分反射镜(500)反射的激光束中穿过45度部分反射镜(300)的激光束，布置于从波长选择性过滤器(400)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上；其中，利用流经所述波长监视用光电二极管(700)的光电流除以流经所述光强度监视用光电二极管(600)的光电流的值，以波长选择性过滤器的透过波长带域为基准而获得激光的波长，其中，所述波长监视用光电二极管(700)接收从光反馈用部分反射镜(500)反射然后透过45度部分反射镜(300)的激光束，所述光强度监视用光电二极管(600)接收激光器二极管芯片(100)发散并且透过45度部分反射镜(300)的激光束。