[发明专利]内置波长测定装置的外部谐振器型激光器有效
申请号: | 201480042981.4 | 申请日: | 2014-05-12 |
公开(公告)号: | CN105431989B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 金定洙 | 申请(专利权)人: | 光速株式会社 |
主分类号: | H01S3/0941 | 分类号: | H01S3/0941;H01S3/10 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国大*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内置 波长 测定 装置 外部 谐振器 激光器 | ||
1.一种外部谐振器型激光器装置,其特征在于,包括:
激光器二极管芯片(100),发散激光;
准直化透镜(200),设置于所述激光器二极管芯片(100)与光反馈用部分反射镜(500)之间的光路径上,准直化从激光器二极管芯片(100)发散的光;
45度部分反射镜(300),使得与封装底面水平的激光方向转换成与封装底面垂直,并具有部分反射和部分透过特征;
波长选择性过滤器(400),使已选择的特定波长的光透过,设置于垂直穿过45度部分反射镜(300)的光路径上,并位于45度部分反射镜(300)的上部;
光反馈用部分反射镜(500),部分反射从所述激光器二极管芯片(100)发散的光通过波长选择性过滤器(400)返回至45度部分反射镜(300),透过激光束剩余部分,并且设置于垂直穿过45度部分反射镜(300)的光路径上,并位于波长选择性过滤器(400)的上部;
光强度监视用光电二极管(600),接收激光器二极管芯片(100)发散的激光束中穿过45度部分反射镜(300)的激光束,布置于从准直化透镜(200)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上;
波长监视用光电二极管(700),接收被光反馈用部分反射镜(500)反射的激光束中穿过45度部分反射镜(300)的激光束,布置于从波长选择性过滤器(400)向45度部分反射镜(300)进行而透过45度部分反射镜(300)的光路径上;
其中,利用流经所述波长监视用光电二极管(700)的光电流除以流经所述光强度监视用光电二极管(600)的光电流的值,以波长选择性过滤器的透过波长带域为基准而获得激光的波长,其中,所述波长监视用光电二极管(700)接收从光反馈用部分反射镜(500)反射然后透过45度部分反射镜(300)的激光束,所述光强度监视用光电二极管(600)接收激光器二极管芯片(100)发散并且透过45度部分反射镜(300)的激光束。
2.根据权利要求1所述的外部谐振器型激光器装置,其特征在于,
所述激光器二极管芯片(100)、准直化透镜(200)、45度部分反射镜(300)、波长选择性过滤器(400)、光反馈用部分反射镜(500)、光强度监视用光电二极管(600)、波长监视用光电二极管(700)布置于热电元件(800)上。
3.根据权利要求1所述的外部谐振器型激光器装置,其特征在于,
所述波长选择性过滤器是通过在玻璃或石英材质上层叠折射率有高有低的电介质薄膜的形态制作的。
4.根据权利要求1所述的外部谐振器型激光器装置,其特征在于,
所述波长选择性过滤器是通过在GaAs基板上层叠GaAs/AlGaAs层而制作的。
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