[发明专利]热电填充式方钴矿器件的稳定电极/扩散阻挡层的制造有效
| 申请号： | 201480041225.X | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106062978B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 节清;任志锋;陈刚 | 申请（专利权）人： | 休斯敦大学体系;麻省理工学院 |
| 主分类号： | H01L35/12 | 分类号： | H01L35/12;H01L35/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;苏虹 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于制造电接触部的n型和p型填充式方钴矿热电臂的方法。对CoSi2的第一材料和掺杂剂进行球磨以形成第一粉末，对所述第一粉末与n型方钴矿的第二粉末进行热机械加工以形成设置在掺杂的CoSi2的第一层与第三层之间的n型方钴矿层。此外，对于诸如钴或铬中的至少一种、铁和镍的多个组分进行球磨以形成第一粉末，对所述第一粉末与p型方钴矿层进行热机械加工以形成设置在该第一粉末的第一层与第三层之间的p型方钴矿层“第二层”。在热压之后，第一层与n型方钴矿和p型方钴矿层两者的方钴矿层之间的比接触电阻小于约10.0μΩ·cm2。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 填充 式方钴矿 器件 稳定 电极 扩散 阻挡 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制造热电元件的方法，所述方法包括：热机械加工第一材料与第二粉末以形成热电元件，其中在热机械加工之前对所述第一材料进行球磨以形成经球磨的第一粉末，其中所述经球磨的第一粉末包含CoSi2和浓度为0.2wt％至5.0wt％的掺杂剂，所述掺杂剂包含镍(Ni)、钴(Co)、铁(Fe)和硼(B)或其组合和合金中的至少之一，其中所述第二粉末包含n型填充式方钴矿，其中在热机械加工之前将所述第二粉末设置成与所述经球磨的第一粉末的第一层和所述经球磨的第一粉末的第二层接触；其中，在所述热机械加工之后，所述经球磨的第一粉末的所述第一层与所述第二粉末之间的比接触电阻小于10.0μΩ·cm2，其中所述经球磨的第一粉末的所述第二层与所述第二粉末之间的比接触电阻小于10.0μΩ·cm2。
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