[发明专利]热电填充式方钴矿器件的稳定电极/扩散阻挡层的制造有效
| 申请号: | 201480041225.X | 申请日: | 2014-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN106062978B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
| 发明(设计)人: | 节清;任志锋;陈刚 | 申请(专利权)人: | 休斯敦大学体系;麻省理工学院 |
| 主分类号: | H01L35/12 | 分类号: | H01L35/12;H01L35/34 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;苏虹 |
| 地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 热电 填充 式方钴矿 器件 稳定 电极 扩散 阻挡 制造 | ||
【权利要求书】:
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