[发明专利]电化学沉积设备和用于控制其中的化学反应的方法

摘要

描述了一种电化学沉积系统。该电化学沉积系统包括：被布置在公共平台上的一个或更多个电化学沉积模块，其用于将一种或更多种金属沉积在基底上；以及化学品管理系统，其被耦接至一个或更多个电化学沉积模块。化学品管理系统被配置成向一个或更多个电化学沉积模块中的至少一个电化学沉积模块提供用于沉积一种或更多种金属的一种或更多种金属成分。化学品管理系统可以包括至少一个金属富集槽和至少一个金属浓缩物产生器槽。

主权项

一种电化学沉积系统，包括：被布置在公共平台上的一个或更多个电化学沉积模块，所述一个或更多个电化学沉积模块用于将一种或更多种金属沉积在基底上；以及化学品管理系统，所述化学品管理系统被耦接至所述一个或更多个电化学沉积模块并且被配置成向所述一个或更多个电化学沉积模块中的至少一个电化学沉积模块提供用于沉积所述一种或更多种金属的一种或更多种金属成分，所述化学品管理系统包括：至少一个金属富集槽，所述至少一个金属富集槽补给所述一种或更多种金属成分中的至少一种金属成分，并且以与将所述一种或更多种金属沉积在所述基底上同步的方式将所补给的金属成分供应至所述一个或更多个电化学沉积模块中的至少一个电化学沉积模块，以及至少一个金属浓缩物产生器槽，所述至少一个金属浓缩物产生器槽产生所述一种或更多种金属成分中的至少一种金属成分的浓缩溶液，并且以与将所述一种或更多种金属沉积在所述基底上异步的方式或同步的方式将浓缩的所述金属成分定量给料至所述一个或更多个电化学沉积模块中的至少一个电化学沉积模块。