[发明专利]正型感光性树脂组合物、使其固化而成的固化膜及具有其的光学设备

摘要

本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。

主权项

一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(a)聚硅氧烷，其是通过将下述通式(1)表示的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂，上述通式(1)中，R¹表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基或碳原子数为6～16的芳基；R²表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基或碳原子数为6～16的芳基；n表示0～3的整数；n为2以上时，多个R¹可以分别相同也可以不同；此外，n为2以下时，多个R²可以分别相同也可以不同。