[发明专利]正型感光性树脂组合物、使其固化而成的固化膜及具有其的光学设备

说明书

本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。

技术领域

本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物适于制作形成于要求高透明性和高折射率的固态图像传感器(solid state image sensor)等中的聚光用微透镜(microlens)、白色(透明)滤色器、连接光传感器部的光波导(opticalwaveguide)，且用紫外-可见光线进行曝光后的部分溶解在碱性水溶液中。

背景技术

近年来，随着数码相机、带有相机功能的移动电话等的快速发展，要求固态图像传感器的小型化、高像素化。由于固态图像传感器的小型化会导致灵敏度降低，所以通过在光传感器部与滤色器部之间、在滤色器部的上部配置聚光用微透镜，在滤色器部形成白色(透明)滤色器，或者在光传感器部与滤色器部之间形成光波导，来有效地聚集光线，防止设备灵敏度的降低。作为上述聚光用微透镜、白色(透明)滤色器或光波导的通常的制作方法，可举出通过干蚀刻对利用CVD法等形成的无机膜进行加工的方法、对树脂进行涂布并加工的方法。由于前者方法难以得到对于聚光用微透镜、白色(透明)滤色器或光波导而言最佳的1.65～2.00的折射率，所以目前后者方法备受关注。即，要求高折射率的树脂组合物。

迄今为止，例如，提出了含有聚硅氧烷、醌二叠氮化合物、溶剂及热交联性化合物的感光性硅氧烷组合物(例如，参见专利文献1)；和由包含具有芳香族烃基的硅氧烷化合物的组合物得到的高折射率材料(例如，参见专利文献2)。但是，这些材料难以得到具有足够高的折射率的固化膜。

此外，提出了含有聚酰胺酸、具有酚式羟基的化合物、醌二叠氮化合物及无机粒子的正型感光性树脂组合物(例如，专利文献3)；和具有酚单元的倍半硅氧烷和具有稠合多环式烃基的有机硅(silicone)共聚物(例如，参见专利文献4)。但是，由于聚酰胺酸或酚式羟基会着色，所以存在透明性降低的问题。

作为同时实现高折射率和高透明性的材料，公开了含有有机硅烷、硅氧烷寡聚物及金属氧化物的微粒及/或溶胶的涂布组合物(例如，参见专利文献5)；和将金属氧化物粒子和烷氧基硅烷共聚而得的硅氧烷系树脂组合物(例如，参见专利文献6)。由于这些材料为非感光性，所以在形成图案时，通常利用使用了药液的湿蚀刻法或使用等离子体的干蚀刻法进行加工。

此外，提出了基于正型感光性的、具有高折射率和高透明性的硅氧烷系树脂组合物(例如，参见专利文献7)。

专利文献1：日本特开2006-293337号公报

专利文献2：日本特开2008-24832号公报

专利文献3：日本特开2003-75997号公报

专利文献4：日本特开2006-312717号公报

专利文献5：日本特开2001-81404号公报

专利文献6：日本特开2007-246877号公报

专利文献7：国际公开第2011/040248号

发明内容