[发明专利]薄膜传感器

摘要

披露了一种传感器(1)，该传感器包括一个膜、被安排在该膜上的一个隔离层(3)、包括沉积在该隔离层(3)上的如一个惠斯通电桥形式的一个薄膜电路(4)的测量电子器件以及被安排成向该薄膜电路(4)供应一个准直流电压的一个电源(14)。由于该薄膜电路(4)，制造该传感器(1)是成本有效的并且可避免腐蚀影响，由于该准直流电压被供应到该薄膜电路(4)，而不必将一个涂层或钝化层应用到该薄膜电路(4)上。 1

主权项

1.一种传感器(1)，包括：‑一个膜，‑一个隔离层(3)，该隔离层被安排在该膜上，‑测量电子器件，该测量电子器件包括沉积在该隔离层(3)上的一个薄膜电路(4)，以及‑一个电源(14)，该电源被安排成向该薄膜电路(4)供应一个准直流电压，其中所述准直流电压包括准直流电压信号，所述准直流电压信号在高电压电平和低电压电平之间交替切换，使得当所述低电压电平被供应给所述薄膜电路的第二供应节点时，所述高电压电平被供应给所述薄膜电路的第一供应节点；在特定时间间隔，所述高电压电平与所述低电压电平是颠倒的，使得所述低电压电平被供应给所述第一供应节点并且所述高电压电平被供应给所述第二供应节点，其中所述测量电子器件还包括切换安排，所述切换安排包括交替地打开和闭合的四个开关以将所述准直流电压信号供给至薄膜电路。