[发明专利]电容式换能器及其制造方法以及对象信息获取装置

摘要

提供了一种其密封可靠性得到改进的电容式换能器。该电容式换能器包括单元和密封部分。单元包括第一电极和振动膜，振动膜具有第二电极，第二电极被形成为通过腔体与第一电极相对。形成蚀刻开口部分以通过牺牲层蚀刻来形成腔体。密封部分密封蚀刻开口部分。密封部分的周边处的间隙的高度小于腔体的高度。在其制造方法中，在形成用于形成腔体以及经由蚀刻流动路径连通到腔体的间隙的牺牲层的步骤中，牺牲层的在将变为间隙的区域中的高度被设置为小于牺牲层的在将变为腔体的区域中的高度。

主权项

一种电容式换能器，包括：单元，所述单元包括：第一电极，和振动膜，所述振动膜包括第二电极，所述第二电极被形成为通过腔体与第一电极相对；和密封部分，所述密封部分用于密封蚀刻开口部分，所述蚀刻开口部分通过牺牲层蚀刻而形成以便形成所述腔体，其中，所述密封部分的周边处的间隙的高度小于所述腔体的高度。