[发明专利]静电致动器和用于生产其的方法

摘要

本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。

主权项

一种静电致动器，包括：静止电极(14；14a‑b；91；91a‑b)；固定悬臂式的弯折件(22；22’；56；76；76’),其中所述弯折件(22；22’；56；76；76’)包括带有在重叠区域内与所述静止电极(14；14a‑b；91；91a‑b)相对设置的悬臂电极(29；29a‑b)的悬臂(28；28a‑b；28’；28’a‑b；58；58’；58”；58”’；60；60’；66a‑d；82；82’)；其中所述悬臂(28；28a‑b；28’；28’a‑b；58；58’；58”；58”’；60；60’；66a‑d；82；82’)包括在空闲状态下设置在所述弯折件的平面内的第一端和偏转出沿所述静止电极(14；14a‑b；91；91a‑b)的方向设置所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的平面的第二端，以当施加电场时引起所述悬臂电极(29；29a‑b)或所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的变形。