[发明专利]静电致动器和用于生产其的方法

权利要求书

1.一种静电致动器，包括：

静止电极(14；14a-b；91；91a-b)；

固定悬臂式的弯折件(22；22’；56；76；76’),

其中所述弯折件(22；22’；56；76；76’)包括带有在重叠区域内与所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)相对设置的悬臂电极(29；29a-b)的悬臂(28；28a-b；28’；28’a-b；58；58’；58”；58”’；60；60’；66a-d；82；82’)；

其中所述悬臂(28；28a-b；28’；28’a-b；58；58’；58”；58”’；60；60’；66a-d；82；82’)包括在空闲状态下设置在所述弯折件的平面内的第一端和偏转出沿所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)的方向设置所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的平面的第二端，以当施加电场时引起所述悬臂电极(29；29a-b)或所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的变形。

2.根据权利要求1所述的装置，其中绝缘间隔件(16；16’；16’a-b)至少部分地设置在所述悬臂电极(29；29a-b)和所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)之间。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述绝缘间隔件(16；16’；16’a-b)设置在所述悬臂电极(29)或所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)上。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)包括部分(31；31’；31’a-b；87；87’)，所述悬臂电极(29；29a-b)支撑在所述部分(31；31’；31’a-b；87；87’)上。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中设置在所述悬臂电极(29；29a-b)和所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)之间的间隙(17)在所述悬臂电极(29；29a-b)的区域内被部分地减小。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述悬臂电极(29；29a-b)或所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)的几何形状被实现为具有施加在所述电极(14；14a-b；91；91a-b；29；29a-b)之间的电压和所述弯折件(22；22’；56；76；76’)或所述悬臂电极(29；29a-b)产生的所述变形之间的线性化比例。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，包括设置在与固定夹具(18)相对设置的所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的可偏转端(33；33’；33’a-b；61；61’；83)上的弹簧结构(62)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述弯折件包括多个所述悬臂电极(29；29a-b)。

9.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述静止电极(14；14a-b；91；91a-b)包括至少两个部分电极(14a’；14b’b；14b”；14c’；14c”；14d’；14d”)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述悬臂电极(29；29a-b)包括至少两个部分电极。

11.根据权利要求9或10所述的装置，其中所述部分电极中的一个或多个包括可变侧向伸展。

12.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中在所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的所述可偏转端(33；33’；33’a-b；61；61’；83)上设置梁元件(78)，所述梁元件(78)在与所述弯折件(22；22’；56；76；76’)侧向相邻且沿着所述弯折件(22；22’；56；76；76’)的一个部分内延伸。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述梁元件(78)包括沿轴向曲线的弯曲。

14.根据权利要求12或13所述的装置，其中所述梁元件(78)包括杠杆电极。