[发明专利]被限位的膜有效
| 申请号： | 201480030777.0 | 申请日： | 2014-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105263851B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | J·W·津恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H04R19/00;H04R19/01 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS的被限位的膜。所述MEMS的被限位的膜包括第一层和第二结构。所述第一层具有外部段和内膜。所述外部段和内膜通过间隙彼此分开并具有内膜突起和外部段突起，内膜突起和外部段突起通过所述间隙形成的。第二结构耦接至所述外部段并具有叠置在对应的内膜突起上方的第二突起。 | ||
| 搜索关键词： | 限位 | ||
【主权项】：
一种MEMS的被限位的膜，所述MEMS的被限位的膜包括：第一层，所述第一层具有外部段和内膜，所述外部段和所述内膜通过间隙彼此分开，所述内膜具有内膜突起并且所述外部段具有外部段突起，所述内膜突起与所述外部段突起通过所述间隙形成；第二结构，所述第二结构耦接至所述外部段并具有叠置在对应的内膜突起上方的第二突起；以及多个接片，所述接片耦接至所述内膜并叠置在所述外部段突起上方；其中，所述多个接片和所述第二突起限定所述内膜的行程。
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