[发明专利]被限位的膜有效
| 申请号： | 201480030777.0 | 申请日： | 2014-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105263851B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | J·W·津恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H04R19/00;H04R19/01 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 限位 | ||
1.一种MEMS的被限位的膜，所述MEMS的被限位的膜包括：
第一层，所述第一层具有外部段和内膜，所述外部段和所述内膜通过间隙彼此分开，所述内膜具有内膜突起并且所述外部段具有外部段突起，所述内膜突起与所述外部段突起通过所述间隙形成；
第二结构，所述第二结构耦接至所述外部段并具有叠置在对应的内膜突起上方的第二突起；以及
多个接片，所述接片耦接至所述内膜并叠置在所述外部段突起上方；
其中，所述多个接片和所述第二突起限定所述内膜的行程。
2.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述第二结构是第二层。
3.根据权利要求2所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述第二结构通过一个或多个连接结构锚接至所述外部段。
4.根据权利要求3所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述一个或多个连接结构用作密封结构，用以密封位于所述一个或多个连接结构之间的连接层。
5.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述第二结构是利用MEMS技术附接至所述外部段的第二元件。
6.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述间隙呈蜿蜒状。
7.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述第二结构用作所述内膜在第一方向上的超程止挡。
8.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述第二结构直接附接至所述外部段。
9.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述MEMS的被限位的膜还包括将所述第二结构从所述外部段隔开的连接层。
10.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述多个接片由第二层形成。
11.根据权利要求10所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述多个接片通过一个或多个连接结构锚接至所述内膜。
12.根据权利要求11所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述一个或多个连接结构用作密封结构，用以密封位于所述一个或多个连接结构之间的连接层。
13.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述多个接片是利用MEMS技术附接至所述内膜的独立的元件。
14.根据权利要求1所述的MEMS的被限位的膜，其特征在于，所述多个接片用作所述内膜在第二方向上的超程止挡。
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