[发明专利]成膜装置及成膜方法

摘要

提供一种仅将磁铁单元和靶材替换就能够对应于基材的尺寸变更的成膜装置。本发明的成膜装置（1）是使用与基材（W）的正面对置的蒸发源（2）对被输送的基材（W）的表面进行成膜的装置，蒸发源（2）具有靶材（7）、背板（8）、磁铁单元（9）、阴极体（10）和冷却水流路（12）。冷却水流路（12）是磁铁单元（9）与背板（8）分离而形成的空间，冷却水能够在该空间中流通。作为磁铁单元（9），可以对应于比基材（W）窄幅的窄幅基材而配备短尺寸的尺寸者，作为靶材（7），对应于配备的磁铁单元（9）的宽度而配备短尺寸的尺寸者。

主权项

一种成膜装置，使用与基材对置的蒸发源，对被输送的基材的表面进行成膜，其特征在于，上述蒸发源具有：平板状的靶材，由成膜物质形成；背板，在表面上安装上述靶材；磁铁单元，配备在上述背板的背侧，在靶材表面附近形成用于磁控放电的磁场；阴极体，收存上述磁铁单元；和冷却水流路，是上述磁铁单元与背板分离而形成的空间，并且在该空间中冷却水能够流通；作为上述磁铁单元，能够对应于比上述基材窄幅的窄幅基材而配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，作为上述靶材，对应于配备的磁铁单元的宽度而配备有短尺寸的尺寸的靶材；在上述阴极体与上述背板之间配备有水路板，上述水路板配备在上述背板与上述磁铁单元之间，能够将两者分离，在上述水路板的表面形成有形成上述冷却水流路的流路槽。