[发明专利]成膜装置及成膜方法

权利要求书

1.一种成膜装置，使用与基材对置的蒸发源，对被输送的基材的表面进行成膜，其特征在于，

上述蒸发源具有：平板状的靶材，由成膜物质形成；背板，在表面上安装上述靶材；磁铁单元，配备在上述背板的背侧，在靶材表面附近形成用于磁控放电的磁场；阴极体，收存上述磁铁单元；和冷却水流路，是上述磁铁单元与背板分离而形成的空间，并且在该空间中冷却水能够流通；

作为上述磁铁单元，能够对应于比上述基材窄幅的窄幅基材而配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，作为上述靶材，对应于配备的磁铁单元的宽度而配备有短尺寸的尺寸的靶材；

在上述阴极体与上述背板之间配备有水路板，上述水路板配备在上述背板与上述磁铁单元之间，能够将两者分离，在上述水路板的表面形成有形成上述冷却水流路的流路槽。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述磁铁单元被收存在上述阴极体的正面观察为长方形的空间中；上述冷却水流路具有形成在上述阴极体的长度方向的一端而使冷却水向上述背板背面的冷却水流路之间流入的导入路、和形成在上述阴极体的长度方向的另一端而将冷却水向外部导出的导出路。

3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述磁铁单元在正面观察形成为长方形；上述冷却水流路具有形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部而使冷却水向水路板与背板之间流入的导入路、和形成在上述磁铁单元的长度方向的中央部而将冷却水向外部导出的导出路。

4.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述磁铁单元在正面观察形成为长方形，并且至少外周磁极的短边部的高度构成得低；上述冷却水流路在搭载通常尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水被从外周磁极的短边部附近的外周磁极与中央磁极之间的空间导入或导出，在搭载短尺寸的磁铁单元的情况下，冷却水从上述磁铁单元的上述短边部的外侧导入或导出。

5.一种成膜方法，使用权利要求1所述的成膜装置对基材的表面进行成膜，其特征在于，

在对与适合于上述成膜装置的基材相比窄幅的窄幅基材的表面进行成膜的情况下，配备短尺寸的尺寸的磁铁单元，对应于配备的磁铁单元的宽度而配备短尺寸的尺寸的靶材，实施成膜。