[发明专利]溅射靶/背衬板组件在审
| 申请号： | 201480026470.3 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105209657A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 永津光太郎;仙田真一郎 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为一种溅射/背衬板组件，其特征在于，溅射靶包含具有150～200MPa的0.2％屈服应力的Ta，背衬板包含具有60～200MPa的0.2％屈服应力的Cu合金。本发明的课题在于，尽量减少由于以双金属的形式热膨胀与收缩而产生的溅射靶的塑形变形，提高膜厚的均匀性，提高成膜速度且提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 背衬板 组件 | ||
【主权项】：
一种溅射/背衬板组件，其为将溅射靶与热膨胀率大于该溅射靶的背衬板接合而得到的溅射靶/背衬板组件，其特征在于，溅射靶包含具有150～200MPa的0.2％屈服应力的Ta，背衬板包含具有60～200MPa的0.2％屈服应力的Cu合金。
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