[发明专利]溅射靶/背衬板组件在审
| 申请号： | 201480026470.3 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105209657A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 永津光太郎;仙田真一郎 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 背衬板 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射/背衬板组件，其为将溅射靶与热膨胀率大于该溅射靶的背衬板接合而得到的溅射靶/背衬板组件，其特征在于，溅射靶包含具有150～200MPa的0.2％屈服应力的Ta，背衬板包含具有60～200MPa的0.2％屈服应力的Cu合金。
2.如权利要求1所述的溅射靶/背衬板组件，其特征在于，背衬板包含具有100～150MPa的0.2％屈服应力的Cu合金。
3.如权利要求1所述的溅射靶/背衬板组件，其特征在于，背衬板包含Cu合金，所述Cu合金含有30～40原子％的Zn，且余量为Cu。
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